高精度位移傳感器是現(xiàn)代工業(yè)檢測與自動化控制中的關鍵器件，其通過非接觸或接觸式測量方式，實現(xiàn)對物體位置、位移或形變的微米級甚至納米級精確感知。核心技術主要包括激光三角法、電容式測量、電感式測量及光柵尺等。激光三角法傳感器通過發(fā)射激光束至被測物體表面，接收反射光點并計算光斑位置變化，從而推導出位移量，適用于高反光或復雜表面。電容式傳感器則利用電極與被測物間電容變化檢測位移，分辨率極高但易受環(huán)境干擾。電感式傳感器基于電磁感應原理，對金屬物體測量穩(wěn)定性優(yōu)異。光柵尺通過光學干涉實現(xiàn)納米級定位，廣泛應用于精密機床。這些技術共同支撐了半導體制造、機械加工、機器人導航等領域的精準作業(yè)。未來，隨著MEMS技術和人工智能算法的融合，傳感器將向智能化、集成化方向發(fā)展，為工業(yè)4.0提供更可靠的測量保障。