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新竹TEC位移傳感器如何克服高溫環境下的測量難題?

發布時間:2025-10-22點擊次數:

在鋼鐵冶金、注塑成型等高溫工況中,傳統位移傳感器常因熱膨脹導致測量失準。TEC系列傳感器采用氮化鋁陶瓷基板與特殊合金探針,其熱膨脹系數嚴格匹配至0.8×10??/℃,從源頭上抑制了溫漂現象。

通過內置溫度傳感模塊與AI補償算法,實時采集探頭與工件溫度數據。當環境溫度驟升至150℃時,系統能在12毫秒內完成溫度補償運算,將熱誤差控制在滿量程的±0.02%以內。

多層復合屏蔽結構有效隔絕熱輻射干擾,特殊設計的空氣對流槽使探頭持續工作在85℃安全溫度下。在某鋁合金壓鑄車間實測中,面對800℃熔融金屬的強熱輻射,傳感器仍保持0.6μm的重復定位精度。

引入脈沖式測量模式,通過微秒級間歇工作制降低探頭自發熱。配合藍寶石防護視窗,在玻璃制造業1600℃高溫窯爐旁連續運行3000小時,透鏡組未出現熱霧化現象。

在半導體晶圓制造環節,TEC傳感器憑借0.1℃溫度分辨率,實時追蹤熱變形量。當光刻機工作臺經歷80℃溫升時,系統自動補償2.3μm熱膨脹量,確保納米級加工精度。


TEC位移傳感器如何克服高溫環境下的測量難題?(圖1)



TEC位移傳感器如何克服高溫環境下的測量難題?(圖2)


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