高精度位移傳感器是現(xiàn)代工業(yè)檢測(cè)與自動(dòng)化控制中的關(guān)鍵器件，其通過(guò)非接觸或接觸式測(cè)量方式，實(shí)現(xiàn)對(duì)物體位置、位移或形變的微米級(jí)甚至納米級(jí)精確感知。核心技術(shù)主要包括激光三角法、電容式測(cè)量、電感式測(cè)量及光柵尺等。激光三角法傳感器通過(guò)發(fā)射激光束至被測(cè)物體表面，接收反射光點(diǎn)并計(jì)算光斑位置變化，從而推導(dǎo)出位移量，適用于高反光或復(fù)雜表面。電容式傳感器則利用電極與被測(cè)物間電容變化檢測(cè)位移，分辨率極高但易受環(huán)境干擾。電感式傳感器基于電磁感應(yīng)原理，對(duì)金屬物體測(cè)量穩(wěn)定性優(yōu)異。光柵尺通過(guò)光學(xué)干涉實(shí)現(xiàn)納米級(jí)定位，廣泛應(yīng)用于精密機(jī)床。這些技術(shù)共同支撐了半導(dǎo)體制造、機(jī)械加工、機(jī)器人導(dǎo)航等領(lǐng)域的精準(zhǔn)作業(yè)。未來(lái)，隨著MEMS技術(shù)和人工智能算法的融合，傳感器將向智能化、集成化方向發(fā)展，為工業(yè)4.0提供更可靠的測(cè)量保障。