發(fā)布時間:2025-10-22
點擊次數(shù): 在鋼鐵冶金、注塑成型等高溫工況中,傳統(tǒng)位移傳感器常因熱膨脹導(dǎo)致測量失準(zhǔn)。TEC系列傳感器采用氮化鋁陶瓷基板與特殊合金探針,其熱膨脹系數(shù)嚴(yán)格匹配至0.8×10??/℃,從源頭上抑制了溫漂現(xiàn)象。
通過內(nèi)置溫度傳感模塊與AI補償算法,實時采集探頭與工件溫度數(shù)據(jù)。當(dāng)環(huán)境溫度驟升至150℃時,系統(tǒng)能在12毫秒內(nèi)完成溫度補償運算,將熱誤差控制在滿量程的±0.02%以內(nèi)。
多層復(fù)合屏蔽結(jié)構(gòu)有效隔絕熱輻射干擾,特殊設(shè)計的空氣對流槽使探頭持續(xù)工作在85℃安全溫度下。在某鋁合金壓鑄車間實測中,面對800℃熔融金屬的強熱輻射,傳感器仍保持0.6μm的重復(fù)定位精度。
引入脈沖式測量模式,通過微秒級間歇工作制降低探頭自發(fā)熱。配合藍(lán)寶石防護視窗,在玻璃制造業(yè)1600℃高溫窯爐旁連續(xù)運行3000小時,透鏡組未出現(xiàn)熱霧化現(xiàn)象。
在半導(dǎo)體晶圓制造環(huán)節(jié),TEC傳感器憑借0.1℃溫度分辨率,實時追蹤熱變形量。當(dāng)光刻機工作臺經(jīng)歷80℃溫升時,系統(tǒng)自動補償2.3μm熱膨脹量,確保納米級加工精度。

