在鋼鐵冶金、注塑成型等高溫工況中，傳統(tǒng)位移傳感器常因熱膨脹導(dǎo)致測量失準(zhǔn)。TEC系列傳感器采用氮化鋁陶瓷基板與特殊合金探針，其熱膨脹系數(shù)嚴(yán)格匹配至0.8×10??/℃，從源頭上抑制了溫漂現(xiàn)象。

通過內(nèi)置溫度傳感模塊與AI補(bǔ)償算法，實(shí)時(shí)采集探頭與工件溫度數(shù)據(jù)。當(dāng)環(huán)境溫度驟升至150℃時(shí)，系統(tǒng)能在12毫秒內(nèi)完成溫度補(bǔ)償運(yùn)算，將熱誤差控制在滿量程的±0.02%以內(nèi)。

多層復(fù)合屏蔽結(jié)構(gòu)有效隔絕熱輻射干擾，特殊設(shè)計(jì)的空氣對(duì)流槽使探頭持續(xù)工作在85℃安全溫度下。在某鋁合金壓鑄車間實(shí)測中，面對(duì)800℃熔融金屬的強(qiáng)熱輻射，傳感器仍保持0.6μm的重復(fù)定位精度。

引入脈沖式測量模式，通過微秒級(jí)間歇工作制降低探頭自發(fā)熱。配合藍(lán)寶石防護(hù)視窗，在玻璃制造業(yè)1600℃高溫窯爐旁連續(xù)運(yùn)行3000小時(shí)，透鏡組未出現(xiàn)熱霧化現(xiàn)象。

在半導(dǎo)體晶圓制造環(huán)節(jié)，TEC傳感器憑借0.1℃溫度分辨率，實(shí)時(shí)追蹤熱變形量。當(dāng)光刻機(jī)工作臺(tái)經(jīng)歷80℃溫升時(shí)，系統(tǒng)自動(dòng)補(bǔ)償2.3μm熱膨脹量，確保納米級(jí)加工精度。